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    KINO Series : 8 Inch Frame Wafer Inspection

    ●特點

    > 可採用挑選檢查模式或順序檢查模式。

    > 可搭配 KLA File 或其他 Wafer Map。

    > 搭配陶瓷真空載台。

    ●規格

    > 應用晶圓尺寸 : 8" Frame Wafer

    > Wafer Frame Cassette Slot 25 and 13 and 12。

    > 氣缸夾持裝置 ; 移動軌道。 


    KINO Series : 12 Inch Frame Wafer Inspection ( With Macro )

    ●特點

    > 可搭配 KLA File 或其他 Wafer Map。

    > 可採用挑選檢查模式與順序檢查模式。

    > 巨(宏)觀檢查以及採用大面積高亮度檢驗治具。

    ●規格

    > 應用晶圓尺寸 : 12" Frame Wafer

    > Wafer Frame Cassette Slot 25 and 13 and 12。

    > 氣缸夾持裝置 ; 移動軌道 ; 巨觀檢查裝置。
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