EFEM
●特點
> 搭配 YASKAWA Robot 系列產品。
> 可提供設備前端上/下料的自動化模組。
> 多用途功能 : 分揀 Sorter 功能與EFEM功能。
●規格
> 應用晶圓尺寸 : 6" / 8"。
> Open Cassette ; Slot 25 and 13 and 12。
> WPH : >200pcs。( With Pre-aligner & OCR )
> 多用途功能 : 分揀 Sorter、裝盒、EFEM功能。
> 可辨識多種包裝材料。
> Box : Canister and Jar。
晟耀光電科技股份有限公司
總公司地址:台灣桃園市龍潭區高楊南路238巷90弄21號
台灣服務電話:+886-3-411-6786
中國蘇州分公司地址 : 苏州高新区五台山路189号5幢5楼
大陸服務電話:+86-512-6631-0971
E-MAIL:Sparky@syo-tech.com.tw Gary@syo-tech.com.tw
快速導航
產品介紹
關於晟耀
與我們聯絡