●特點

> 1.2.3.代半導體材料( 透明/半透明材質 )。

> 自動量測 / 自動拍照 / 拼圖功能。

> 可搭配 KLA File 或其他 Wafer Map。

●規格

> 應用晶圓尺寸：4" / 6" / 8"。

> 支援 25 Slot / 13 Slot / 12 Slot 卡匣。

> 移動精度：1um
> 移動速度：70mm/sec。

●特點

> 用於巨(宏)觀檢查和微觀檢查。

> 採用大面積高亮度檢驗治具。

> 可搭配 Wafer ID 讀取器 (OCR)。

●規格

> 應用晶圓尺寸 : 12" / 8"。( 8" adapter )

> FOUP/ FOSB/ Open Cassette; Slot 25 and 13。

> 搭配手動載台。(適用於 12" / 8" 晶圓) 

●特點

> 用於巨(宏)觀檢查和微觀檢查。

> 多用途功能 : 分揀功能與EFEM功能。

> 可搭配 KLA File 或其他 Wafer Map。

●規格

> 應用晶圓尺寸 : 12" / 8"。( 8" adapter )

> FOUP/ FOSB/ Open Cassette; Slot 25 and 13。

> 搭配電動載台 ; 移動速度 : 70mm/sec。 

●特點

> 用於巨(宏)觀檢查和微觀檢查。

> 多用途功能 : 分揀功能與EFEM功能。

> 可搭配 KLA File 或其他 Wafer Map。

●規格

> 應用晶圓尺寸 : 8"。

> SMIF Port / Versar Port and SMIF Pod。

> 搭配電動載台 ; 移動速度 : 70mm/sec。