●特點


    > 最大可支援到 100" Panel 量測。

    > X、Y 本體移動採用線性馬達。

    >搭配 NIKON 光學系統。

    ●規格


    > 應用產品尺寸(mm) : 2250*1300。

    > 主動式氣壓減震系統。

    > X、Y 軸採用龍門式結構 ; 花崗岩材质主體。  


    ●特點


    >可支援小中大尺寸的微觀觀察與雷射修補

    > X、Y 本體移動採用線性馬達。

    >雙光學系統:HOYA 雷射 /NIKON 光學系統。

    ●規格


    > 應用產品尺寸(mm) : 650*750。

    > 主動式氣壓減震系統。

    > X、Y 軸採用龍門式結構 ; 花崗岩材质主體。  


    複合式顯微鏡

    ●特點


    > 最大可支援到 100" Panel 量測。

    > X、Y 本體移動採用線性馬達。

    >雙光學系統: Zoom Optical /NIKON 光學系統。

    ●規格


    > 應用產品尺寸(mm) : 2350*1350。

    > 主動式氣壓減震系統。

    > X、Y 軸採用龍門式結構 ; 花崗岩材质主體。  


    ●特點


    >可支援小中大尺寸的微觀觀察與雷射修補

    > X、Y 本體移動採用線性馬達。

    >採用HOYA 雷射光學系統。

    ●規格


    > 應用產品尺寸(mm) : 730*920。

    > 主動式氣壓減震系統。

    > X、Y 軸採用龍門式結構 ; 花崗岩材质主體。  


    SYO-6555A

    ●特點


    >段式移動速度; X/ Y/ Z 移動方式 : 電動/手動

    >採用 Mitutoyo 光學尺顯示器。

    >搭配NIKON 光學系統。

    ●規格


    > 應用產品尺寸(mm) : 650*550。

    > 花崗岩材质主體。

    > 採用被動式氣囊


    3D+金相

    ●特點


    >單一機台同時擁有3D與2D量測功能

    > 可搭配 EFEM 實現自動化量測

    >雙光學系統:Sensofar S NEOX  /NIKON 光學。

    ●規格


    > 應用產品尺寸(mm) : 410*410。

    > 主動式氣壓減震系統。

    > 花崗岩材质主體。  


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    ●特點


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    ●規格


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